大基板缺陷检测系统是一款针对于显示面板行业大尺寸掩膜基板、掩膜版开发的缺陷检测设备，主要针对光掩膜基板、掩膜版中颗粒、针孔、划痕、崩面、脏污、图···

300 mm晶圆缺陷检测系统是一款专为 300 mm及以下晶圆设计的全自动、高精度缺陷检测设备。它针对有图案晶圆、无图案晶圆以及 E -test···

a.设备由前端上下料机构，精密检测机构，电控系统等部分组成。核心检测头由彩色CCD图形和紫紫外激光器，压电倍增管(PMT)，压电扫描仪器等系统组···

a.设备基于自动光学检测技术，在明场、暗场、透射下采集图像，通过图像处理分析出缺陷数 据，用于基板检测颗粒、划伤，铬板检测颗粒、划伤、针孔；b.···

设备简介：全自动针孔检测仪是一种检测产品纳米级及以上缺陷的设备，设备整体采用高速相机搭配显微成像系统，配置UVW高精度运动平台，再搭配四轴机器人···