检测类
a.设备由前端上下料机构，精密检测机构，电控系统等部分组成。核心检测头由彩色CCD图形和紫紫外激光器，压电倍增管(PMT)，压电扫描仪器等系统组成。以最可靠的方式进行光学检测，获得产品表面3D轮廓，用于基板检测颗粒、划伤，铬板检测颗粒、划伤、针孔；
b.设备主要由前端上下料装卸机构，高精度运动及控制系统、隔振气囊系统、高精度大理石平台、高速检测头系统、计算机控制系统、电控系统，空气净化系统等组成；
c.基板上下料由人工放置、取走料盒。
序号 | 项目 | 规格 | 备注 |
1 | 设备尺寸 | 3480X2530X2000mm（长X宽X高） | 包含电气柜，设备外形尺寸 |
2 | 基板夹持方式 | 水平夹持 | |
3 | 针孔检测精度 | 0.1μm | |
4 | 划痕检测精度 | 0.1μm | |
5 | 颗粒检测精度 | 0.1μm | |
6 | 检测方式 | 针孔共焦光学检测系统 | |
7 | 重量 | 2.5T | |
8 | 功率 | 10KW | |
9 | 产能 | ≤10Min/pcs（10X） | |
10 | 耗气量 | 200L/min | |
11 | 放置地面隔振等级 | VC-C | 需修建隔振底座 |
12 | 扫描范围 | 基板边缘10mm内 | |
13 | 扫描方式 | X轴Y轴运动扫描 | 光学检测组件固定，基板运动 |
14 | 环境要求 | 温度：23±1deg，湿度：45%±3% | |
15 | 交期 | 正常交期8个月(含调试2个月） |
湖南省长沙市芙蓉区隆平高科技园湖南省科研成果转化中心厂房4栋101房
