a.设备基于自动光学检测技术，在明场、暗场、透射下采集图像，通过图像处理分析出缺陷数      据，用于基板检测颗粒、划伤，铬板检测颗粒、划伤、针孔；

b.设备主要由高精度运动及控制系统、隔振气囊系统、高精度大理石平台、多倍率显微成像光学系统、计算机控制系统、开盒机构构成；

c.基板上下料由人工放置、取走料盒。